氘代硅烷是硅烷氘代衍生物，是一种无色剧毒的气体，在半导体行业是一种需求量极大的产品，按纯度可分为≤4N的实验级、4N-5N的工业级以及≥5N的电子级产品，其中电子级是国内缺口最为突出的产品。

一、国内氘代硅烷的产能与需求现状

（一）产能现状

目前我国的氘代硅烷产能主要集中于工业级，已实现国产化生产，但高端电子级依旧需要大量的进口，虽5N级产品生产技术实现了技术突破，但因设备集成度要求极高尚未实现量产，当然未来肯定是能够实现国产化。

（二）需求现状

由于国内半导体14nm及以下先进制程芯片制造的快速发展，需要制备硅膜、钝化层等关键结构用以提升器件的寿命和稳定性，同时光伏N型电池、高端OLED面板等领域需求也在稳步增长，氘代硅烷的市场规模已打96亿。

二、氘代硅烷的主要制备方法

在全球范围内，氘代硅烷的主流制备工艺主要分为三类，具体如下：

（一）氘气交换法

该工艺以5N级硅烷与氘气为原料，300-400℃高温下发生同位素交换反应生成产品，优势是纯度可控性强，可稳定产出99.999%以上电子级产品；但因为原料稀缺、能耗高，成本显著高于其他工艺，国内暂未大规模采用。

（二）锂铝氘化物还原法

国内工业级制备的核心工艺，以4N级卤硅烷与锂铝氘化物为原料经还原反应制得。优势是原料门槛低、成本可控，能够规模化量产；但由于副产物体系复杂，分离提纯难度较大，无法达到电子级纯度要求。

（三）反应精馏集成法

由上海交大与通威股份联合研发的方法，以4N级二氯硅烷与氘源为原料，通过反应与精馏集成设计制备。这种方法的氘源利用率可达90%、能耗低，能够直接制备5N级电子级产品并连续化生产；但由于目前设备集成度要求高尚未量产，处于技术转化攻坚阶段。