氘代氨，又被成为氨气-D3、三氘代氨，化学式为ND3，cas号13550-49-7，在半导体的一些领域中有不少地方会用到，但作为同位素一般都是验证过程，每次就需要一两升小批量的氘代氨就足够了，只需要丰度达到99%即可。

像半导体行业，对于产品的质量要求是非常高的，通常丰度在99%以上，纯度也是99%以上，杂质的控制很严，一般向实验室小试、晶圆工艺调试、同位素示踪试验，需要的量还是可以的，少量多需，一般一次也就1、2L左右的样子。

氘代氨气目前的价格还是偏高的，毕竟属于同位素危化品，进口价格非常高，而我们尚澜气体主要是国产氘代氨气的供应商，目前有不少现货，支持多规格的包装，全国绝大多数的地方都能送，支持企业研发。

99%丰度的氘代氨气的氘代结构是非常稳定的，能够有效解决芯片薄膜老化、漏电率高等问题，目前在3-5nm的先进制程领域中非常重要。

目前氘代氨最核心的用途就是制作氘代氮化硅的钝化薄膜，这个东西能够有限抑制晶体管氢扩散损耗，提升芯片稳定性与使用寿命，在3-5nm的DRAM先进制程汇总用的很多。

同时在PECVD工艺薄膜沉积这个领域中，也因为能够精准提供氮、氘元素，能够生成高致密、抗老化的钝化防护薄膜，对于晶圆的良品率得到了很大的提升。

同时氘代氨还能够可优化高端算力芯片、逻辑芯片晶体管结构，降低漏电与老化速率，对于实验室的一些科研研发起到了非常重要的作用。