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一文读懂氘气D2_半导体专用氘气_混合气配制_专用原料气体

一文读懂氘气D2_半导体专用氘气_混合气配制_专用原料气体

氘气是一种氢的稳定同位素气体,在高端领域中经常可以见到它的身影,在半导体先进制程、光纤制造、科研实验、新能源研发等领域的可以说是核心原料。跟普通的氢气相比,氘气D2的性能更稳定,适配高端精密工艺,而且还支持混合气定制配比。

氘气的天然丰度极低,仅有0.014%左右,而通过一系列提纯富集,得到了99.999%纯度、99.8%丰度的高纯氘气,在半导体上能够满足3nm、5nm先进芯片制程的严苛要求。

在半导体工艺中,全都在向着微型化、高精度进行迭代,像芯片刻蚀、退火、薄膜沉积、期间改性等核心工序方面需要稳定性更好的材料,氘气就成为了3D NAND、GAA先进晶圆制造的必备特种气体。

氘气
氘气

为什么要选择氘气参与半导体工艺呢,氘气所合成的C-D化学键稳定性极强,能有效减少晶圆表面缺陷与侧壁腐蚀的问题,显著提升芯片的稳定性、寿命和良品率,适配高端集成电路与功率半导体的生产标准。

当然有些领域对于氘气的用量没有那么大,就像光纤制造、金属改性、常规科研、工业退火等场景,需要做成混配气会更好用,搭配氮气、氩气等惰性气体,就像1%-3%配比的氘氮混合气是低水峰光纤制造专用原料,可优化光纤结构、降低传输损耗、提升使用寿命。同时支持0.5%-10%多浓度定制,适配半导体退火、材料改性、实验室模拟实验等各类场景。

除核心半导体领域外,高纯氘气及定制混合气还广泛用于可控核聚变研发、核工业研究、氘代药物合成、低水峰光纤加工、特种器件制造、质谱分析、航空航天材料改性等领域,是前沿科技与高端制造业的关键原料。