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六氟化钨

六氟化钨

六氟化钨分子式WF₆,分子量297.83,常温常压下为无色液化气体,遇湿空气生成白色酸雾;熔点-2.3℃、沸点17.5℃,气体密度12.4g/L,相对蒸气密度10.3,遇水易水解。不可燃不助燃,无闪点及爆炸极限;遇水剧烈水解生成氢氟酸等腐蚀产物;对多数金属有腐蚀性,忌铝、黄铜;高温下稳定,但钢瓶受热易因压力骤升爆炸。吸入致命。

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化学式

WF₆

cas

7783-82-6

纯度

5N

规格

10L/40L

外观

高毒性腐蚀性液化气体

沸点

17.5℃

核心应用领域

(一)电子工业领域

高纯级为半导体核心电子特气,用于钨化学气相沉积(CVD)工艺,在晶圆表面沉积钨层形成导电连接,是逻辑芯片、DRAM及3D NAND的关键材料,随3D NAND层数提升用量激增。

(二)化工合成领域

高效氟化试剂,用于有机合成选择性引入氟原子,提升产物稳定性与特殊功能,助力精细化工产品制备。

(三)材料制备与冶金领域

高端钨基材料核心钨源,可制备高纯度钨粉及合金;用于沉积耐磨耐腐蚀钨基涂层,提升材料表面性能。

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

采用不锈钢、镍合金等耐腐容器盛装,标注有毒、腐蚀等警示标识;储存于≤52℃干燥通风库房,远离可燃物、人员频繁出入处,装氟化氢泄漏报警仪;钢瓶直立固定,阀盖密封,空满瓶分存,每周巡检泄漏迹象。

(二)运输规范

UN 2196(2.3类有毒气体,I类包装),贴警示标识并配应急器材;公路用防爆冷藏车运输,避高温潮湿,严控车速;铁运/空运需提供纯度报告,存于防爆干燥舱,禁停留居民区、水源地。

(三)操作与应急处理

操作要求:持证上岗,穿戴耐腐蚀防护服、正压式呼吸器及耐腐手套;系统用干燥惰性气体吹扫,禁用黄铜、铝制设备;缓慢开阀,用专用减压器及单向阀;密闭空间操作需多人监护并持续检测氟化氢浓度。

泄漏处理:疏散人员至安全上风向(小量隔离150m、大量初始隔离500ft,下风向白/夜晚分别为1.2/0.3英里);应急人员全防护,加强通风并检测浓度;禁柱状水冲洗,可喷水雾,泄漏气经碱液吸收中和,禁用下水道排放。

急救措施:①吸入:移至新鲜空气,吸氧保暖,立即送医(可联用皮质类固醇喷雾);②皮肤/眼部:流动清水冲洗≥15分钟,皮肤涂葡萄糖酸钙胶体、眼部滴1%葡萄糖酸钙溶液后送医;③食入:勿催吐,漱口饮牛奶/乳化氧化镁后送医。

(四)废弃处置

余气经惰性气体稀释后通入碱液吸收中和达标排放;钢瓶经氮气置换(残留<0.01%)、真空干燥后由专业机构回收。