核心应用领域（聚焦“超纯”不可替代性）

（一）半导体与电子领域

EUV光刻光源：6N级用于3nm芯片制程，激光轰击形成30万℃等离子体（辐射13.5nm波长）；

等离子体刻蚀：5N级实现50:1深宽比刻蚀，轰击能量≤200eV（氩气50%），芯片良率升15%。

（二）医疗与生物领域

超极化MRI成像：6N级氙-129极化后MRI信号增10万倍，10μm级肺泡成像，早期肺纤维化诊断率92%；

神经保护与麻醉：拮抗NMDA受体，脑缺血梗死体积减40%；麻醉血气分配系数0.115（诱导30秒、苏醒5分钟），心脏手术肌钙蛋白降35%。

（三）航天与科研领域

离子推进器：5N级作卫星推进剂，单颗用量200-300kg，低杂质防电极烧蚀，中国载人航天实现国产供应；

暗物质探测：7N级用于X射线探测器。

（四）其他领域

高端照明：4.5N级充填长弧灯，光谱接近日光，寿命较氩气灯长3倍；

精密校准：6N级作标准气，校准气相色谱仪。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

容器与环境

气态：316L不锈钢钢瓶（内壁抛光，耐压15MPa），标“超纯氙/防窒息/防低温”，检验1.5年/次；

液态：双层真空杜瓦罐（内层哈氏合金），容积10-200L，日监真空度（损耗≤1%）；

环境：≤30℃库房，地面架空≥30cm，底部排风≥25次/小时，配氧检测仪（报警19.5%）。

管理要求

钢瓶双支架固定于高处，液态罐储量≥1/4；

建纯度台账，剩余压力≥0.05MPa（防杂质倒灌），禁与可燃气体混放。

（二）运输规范

UN分类：2.2类非易燃无毒气体（UN2036，包装II类），贴“重气体防积聚/防低温”；

要求：①公路：专用货车（底部通风），钢瓶离车厢底20cm，避低洼；②铁路/航空：单批≤10瓶，单独舱室；③装卸：软胶叉齿，戴防低温手套。

（三）操作与应急

操作禁忌

持超纯气体操作证，禁低洼单独作业；①开阀≤1圈（无油减压器）；②液态用不锈钢导管；③密闭空间2人监护（先测氧浓度）。

泄漏与应急处理

泄漏：撤至高处，开排风；气态肥皂水检漏，液态待汽化后测氧≥19.5%；

事故：①窒息：移新鲜空气+CPR；②冻伤：37-40℃温水浸≥20分钟；③爆炸：撤50米外，专业处置。

（四）废弃处置与法规遵从

余气排放，钢瓶氮气置换（氙＜0.1%）后回收。