核心应用领域（聚焦“超纯”不可替代性）

（一）半导体与电子领域

EUV光刻：7N级用于真空腔体控温+减激光损耗，纯度99.99999%；

半导体封装：6N级用于气密性检测（泄漏率≤10⁻¹²Pa・m³/s）。

（二）医疗与超导领域

超导MRI：6N级冷却磁体（维持-269℃防失超）；

粒子治疗：7N级保护加速器束流管道。

（三）航天与科研领域

航天推进剂：5N级增压火箭燃料储罐；

低温科研：7N级用于绝对零度实验。

（四）其他领域

高端焊接：6N级保护铝/钛合金熔池，防焊缝强度降20%；

检漏校准：7N级作标准气，校准真空设备/气相色谱。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

容器与环境

气态：316L不锈钢瓶（耐压20MPa，内壁抛光），标识“超纯氦/轻气体防顶部积聚”，检验1.5年/次；

液态：三层真空杜瓦罐（钛合金内层），容积10-500L，日监真空度（损耗≤0.5%/天）；

环境：≤25℃库房，顶部排风（≥30次/小时），氧检测仪（探头顶置，报警≤19.5%）。

管理要求

钢瓶双支架固定（远离顶棚），液态罐储量≥1/3；

建纯度台账，余压≥0.1MPa，禁与普通氦混放。

（二）运输规范

UN分类：2.2类非易燃无毒气体（UN1046），贴“轻气体防积聚/防超低温”；

要求：①公路：气态用顶通风货车（车速≤60km/h），液态用绝热车（监压≤0.8MPa）；②铁路/航空：单批≤15瓶，单独通风舱；③装卸：软胶叉车，戴防低温/防静电手套。

（三）操作与应急

操作禁忌

人员持专项证，禁密闭空间顶部单独作业；①开阀≤0.5圈，用钛合金减压器；②液态用钛合金导管；③2人监护，携氧检测仪（探头朝上）。

泄漏处理

气态：撤至低处，开顶排风，氦质谱检漏，超纯氦吹扫；

液态：远离待汽化，测顶氧≥19.5%方可进入。

应急处理

窒息：移至低处新鲜空气，必要CPR；

冻伤：37-40℃温水浸≥30分钟，送医；

爆炸：撤≥50米，专业检测钢瓶。

（四）废弃处置

余气直排，钢瓶氮气置换（氦＜0.1%）后专业回收。