核心应用领域（聚焦“超纯”不可替代性）

（一）半导体与电子领域

等离子体刻蚀：6N级用于硅基/SiC刻蚀（CH₄-H₂等离子体，防O₂致刻蚀精度偏差＞0.2μm），需7N级；

CVD：5N级作碳源（制金刚石薄膜/石墨烯，防C₂⁺烃致缺陷率升30%）。

（二）能源与燃料电池领域

SOFC：5N级为燃料（内部重整生H₂，防S/CO毒化催化剂，避免寿命从10000h降至3000h）；

高端制氢：6N级用于半导体高纯氢制备（避免杂质污染，达7N级氢需求）。

（三）科研与医疗领域（20%）

量子计算与检测（12%）：6N级护量子比特（稀释氧＜0.1ppm防退相干）、作气相色谱载气/标气（精度ppb级）；

医疗显像（8%）：碳-13标记超纯甲烷（99.999%）用于肺部PET-CT，防杂质干扰显像。

（四）其他领域

高端照明：5N级充高压氙灯（调色温，防杂质致寿命缩50%）；

环保监测：作VOCs检测标气（校准设备，确保碳排放核算准）。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

容器与环境

气态：316L不锈钢瓶（耐压20MPa，内壁抛光防吸附），标“超纯甲烷/易燃/轻气体防顶部积聚”，检验1.5年/次；

液态：双层真空杜瓦罐（内层镍钢防脆裂），容积10-500L，日监真空度（损耗≤1%/天）；

环境：≤25℃，顶部排风≥30次/小时，远火源/氧化剂（距≥30米），配甲烷探测器（报警0.5%）、氧检测仪（≤19.5%）。

管理要求

钢瓶防静电固定，远库房顶部；液态罐禁倾倒，储量≥1/3；

建纯度-安全台账，余压≥0.1MPa，禁与氧化剂混放。

（二）运输规范

UN分类：2.1类易燃气体（UN1978，包装I类），贴“易燃/防静电/防低温”，配防爆灭火器；

要求：①公路：防爆货车（顶部通风），钢瓶防静电固定，车速≤50km/h；②铁路/航空：提供纯度报告，单批≤10瓶，单独防爆舱；③装卸：防静电叉车，穿防静电服，禁铁制工具。

（三）操作与应急

操作禁忌

人员持专项证，禁穿化纤衣；①开阀≤0.5圈，用铜合金减压器；②转移用防静电导管（漏率≤10⁻⁹Pa・m³/s）；③密闭空间2人监护，先测甲烷＜0.5%、氧＞19.5%。

泄漏处理

气态：撤至低处，开顶部排风，关气源，氦质谱检漏，氮气吹扫；

液态：远泄漏区，禁冲水，待汽化后测甲烷＜0.5%方可入。

应急处理

火灾：干粉/CO₂灭火，先断气源；钢瓶起火雾状水冷；

CO中毒：移新鲜空气、吸氧、送医（注亚甲蓝）；

窒息/冻伤：按通用流程，冻伤温水（37-40℃）泡≥20分钟。

（四）废弃处置与法规遵从

余气专用燃烧器排放；钢瓶氮气置换（甲烷＜0.1%）后专业回收。