核心应用领域（聚焦“超纯”不可替代性）

（一）半导体与电子领域

晶圆制造：6N/7N级用于等离子刻蚀（防O₂影响刻蚀精度）、金属化工艺（防H₂O致金属层脱落）；

电子封装：倒装焊保护（防N₂致焊点空洞）。

（二）光伏与精密制造领域

光伏晶体硅生长：5N级用于单晶硅拉制（防O₂致硅料氧化）；

高端焊接：钛合金/不锈钢焊接（防杂质致焊缝脆化，强度降30%）。

（三）科研与低温领域

低温物理实验：液态6N级用于暗物质探测（如“熊猫计划”）、超导测试（维持4.2K低温）；

光谱分析：6N级作为ICP-OES载气（防干扰，检测精度达ppb级）。

（四）其他领域

金属热处理：不锈钢/钛合金退火（防氧化变色）；

食品与环保：高端食品保鲜辅助、VOCs监测载气（防杂质干扰）。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

容器与环境

气态：316L不锈钢钢瓶（内壁抛光，耐压20MPa），标识“超纯氩/惰性气体/防低洼积聚”，检验2年/次；

液态：双层真空杜瓦罐（内层316L，镀银防辐射），容积10-500L，日监真空度（损耗≤0.8%/天）；

环境：≤30℃，架空库房（≥30cm），底部排风（≥25次/小时），配氧检测仪（报警氧＜19.5%）。

管理要求

钢瓶双支架固定于20cm台架，瓶阀朝无通道处；杜瓦罐远振动源，储量≥1/4；

建纯度台账，禁与普通氩混放。

（二）运输规范

UN分类：2.2类非易燃无毒气体（UN1006，II类），贴“惰性气体/防积聚/防低温”标识；

要求：①公路：气态用底部通风货车，钢瓶离车厢底20cm，车速≤60km/h；液态用绝热车（监压≤0.6MPa）；②铁路/航空：提供纯度报告，单批≤20瓶，单独舱；③装卸：软胶叉车，戴洁净手套。

（三）操作与应急

操作禁忌

人员持超纯气操作证，禁低洼单独作业；①开阀≤1圈，用316L无油减压器；②液态转移用不锈钢导管；③密闭空间2人监护，优先测低洼氧浓度。

泄漏处理

气态：撤高处，开底部排风，关阀检漏，超纯氩吹扫；

液态：远泄漏区，禁冲水，汽化后测氧≥19.5%方可入。

应急处理

窒息：移高处新鲜空气，必要CPR；

冻伤：37-40℃温水浸泡≥20分钟，送医；

钢瓶爆炸：撤50米，专业处置。

（四）废弃处置

直接排放；钢瓶清洗检测后专业回收。