三氯氢硅
产品分类
产品搜索
| 化学式 | SiHCl₃ |
|---|---|
| cas | 10025-78-2 |
| 纯度 | 2N/9N |
| 规格 | 多种规格 |
| 外观 | 无色易挥发液体 |
| 沸点 | 31.8℃ |
核心应用领域
(一)电子工业领域
高纯级为光伏/半导体核心原料,用于制备高纯多晶硅(光伏电池核心)、半导体外延硅层生长,保障芯片纯度,也可用于硅基薄膜沉积。
(二)化工合成领域
有机硅合成关键原料,可制备硅酮化合物、硅烷偶联剂,支撑橡胶、涂料等行业,也可用作有机反应中间体制备精细化工产品。
(三)材料制备与冶金领域
金属表面处理用作蚀刻剂提升光洁度;可制备其他硅系化合物,完善电子化学品产业链。
安全规范与操作指南
(一)储存要求
采用不锈钢/玻璃耐腐容器盛装,标注“遇湿易燃、有毒、腐蚀、禁水”标识;储存于≤25℃干燥通风库房,配强制干燥排风(≥30次/小时),远离水、氧化剂等(安全距离≥100m),安装泄漏报警仪,钢瓶防倾倒固定,余压≥0.3MPa防空气进入。
(二)运输规范
UN分类:4.3类遇湿易燃品+2.3类有毒气体(UN 1295,包装I类),贴对应警示标识,配备防护及应急器材。公路用防爆防潮货车,排气管阻火,车速≤30km/h,避高温潮湿路段;铁路/航空需纯度报告,单批≤3瓶,单独防爆干燥舱运输,禁停留居民区、水源地。
(三)操作与应急处理
操作要求:持证上岗,穿阻燃耐酸碱服、戴正压式呼吸器及氟橡胶手套;开阀≤0.1圈并使用专用耐腐减压器;转移采用干燥无缝不锈钢管线;密闭空间操作需3人监护,每3分钟检测浓度。
泄漏处理:立即消除点火源,人员上风向撤离(小量隔离30m、大量隔离150m);应急人员穿全防防护服,严禁喷水泡沫,用干燥惰性气体吹扫,泄漏液用砂土吸收,残余气经碱液吸收塔中和,封堵后禁用下水道排放。
急救措施:①吸入:移至干燥新鲜空气处吸氧并立即送医;②皮肤/眼部:先以干燥惰性气体吹扫,再用大量流动清水冲洗≥15分钟后就医;③食入:漱口后饮牛奶/蛋清,速送医。
(四)废弃处置
余气经干燥惰性气体稀释后通入碱液吸收塔中和达标排放;钢瓶经氮气置换(残留<0.01%)、真空干燥后专业回收。







