天津尚澜气体有限公司

硅烷

硅烷

硅烷通常指甲硅烷,又称四氢化硅,属硅氢化合物,无色有大蒜味易燃气体,常压不稳定,需加压低温储运,为电子工业关键特种气体,分子式SiH₄,分子量32.12;急性毒性类别4,气态密度1.114 g/L,熔点-185.0℃,沸点-111.9℃;微溶于水、易溶于有机溶剂;极强自燃性,与空气接触即自燃,燃烧产二氧化硅粉尘及有毒烟雾;与卤素、氧化剂剧烈反应,钢瓶受热易爆炸;液态致皮肤严重冻伤,有害水生生物。

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化学式

SiH₄

cas

7803-62-5

纯度

6N/8N

规格

47L

外观

无色有大蒜味的易燃气体

沸点

-111.9℃

核心应用领域

(一)化工合成领域

电子领域硅基材料制备:核心用途:半导体、光伏电池、平板显示器制造,制备单晶硅、多晶硅等硅基材料;

先进材料合成原料:合成先进陶瓷、复合材料、功能材料等,为新技术器件基础原料;

(二)工业专用领域

金属表面处理剂:玻璃、钢铁镀层工艺,提升表面性能与耐腐蚀性;

还原剂与掺杂剂:化工反应强还原剂,电子工业半导体掺杂剂,调控材料性能;

(三)科研与特种试剂领域(高纯级)

分析化学标准试剂:高纯级校准检测仪器,适配电子工业尾气硅烷检测标准;

科研实验试剂:超纯级用于硅氢化合物动力学、高分子合成机理研究,支撑新材料创新;

(四)其他领域

高能材料中间体:合成高能材料,适配航空航天高端领域特种材料制备;

光纤制造助剂:光纤预制棒制备,提升光纤光学性能与稳定性;

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

容器与环境

耐压钢瓶充装,标注“硅烷、自燃、易燃、有毒”及危险标记2,月检密封与压力;配备限流孔板(小钢瓶≤0.25mm,大宗≤3.175mm),严禁撞击、刺穿;

储存于≤30℃阴凉通风专用库房,强制通风(换气≥12次/h),远离火种热源,配干粉灭火器及泄漏应急设备;严禁暴晒,干燥(湿度≤80%);

管理要求

分区存放(空满瓶分开),禁与氧化剂、卤素、酸类混存;系统持续氮气吹扫(氧含量<1%),建出入库登记,禁用非铜合金火花工具;

(二)运输规范

UN分类:2.1类易燃气体(UN2203),国标编号21050,贴“自燃、易燃气体、有毒”标签,专用耐压钢瓶,配防雨防泄漏防静电设施;

运输要求:①公路用防爆耐压车辆,钢瓶直立固定、阀盖密封,接地防静电,避颠簸暴晒,严禁吸烟;②海运/空运需资质及MSDS,按EmS指南F-D、S-U应急,禁与禁忌物混运;

(三)操作与应急

操作禁忌

操作人员经专业培训,佩戴正压空呼、防静电服、防冻手套及护目镜;密闭通风操作,作业前氮气吹扫管道≥3次(氧含量<100ppm),装泄漏与火焰探测器,密闭空间2人监护并定时检测浓度(TLV-TWA 5ppm);

应急处理

泄漏处置:立即启动紧急切断系统,疏散至上风安全区(小量隔离100m,大量800m),限出入;应急人员戴正压空呼上风处置;雾状水稀释,严禁直流水冲击;漏气容器惰性气体置换后处理或报废;

中毒急救:皮肤冻伤用38~42℃温水复温,忌热水/辐射热、不揉搓,就医;眼睛提眼睑冲洗后就医;吸入移至新鲜空气处,呼吸困难给氧,呼吸停止即心肺复苏并送医;

火灾处置:消防人员穿全套装防化服、戴空呼上风向操作;干粉灭火器扑救,严禁水直射;切勿关闭泄漏源阀门(防负压回火爆炸),喷水冷却钢瓶移至空旷处;

(四)废弃处置

废弃处置:剩余物料导入专用燃烧式尾气处理装置,惰性气体吹扫后焚烧,尾气过滤除二氧化硅粉尘;空钢瓶经惰性气体置换清洗合格后专业回收,禁丢弃;