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四氟化硅

四氟化硅

四氟化硅,别名四氟硅烷,为含氟无机化合物,常温常压下是无色刺激性气体,易潮解并在潮湿空气中产生浓烟雾,分子式SiF₄,分子量104.08;熔点-90.2℃,沸点-65℃,溶于乙醇、硝酸、氢氟酸,不溶于乙醚;加压可液化,便于提纯,化学活性较高,忌与强酸、潮湿空气接触;遇水/水蒸气水解产生剧毒烟气,可腐蚀玻璃及多数金属;本身不燃,但高温下钢瓶易因压力升高爆炸;急性毒性显著。

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化学式

SiF₄

cas

7783-61-1

纯度

2N/5N

规格

3.3L/47L

外观

无色有刺激性气味气体

沸点

-65℃

核心应用领域

(一)电子工业领域

半导体制造材料:高纯四氟化硅作为电子特气,可用于氮化硅等材料的等离子刻蚀,也可作为前驱体沉积低介电二氧化硅薄膜,或作为掺杂剂制备p型半导体及发光二极管。

光纤与石英玻璃制备:作为核心原料制备电子级硅烷、多晶硅及高纯石英玻璃,是光纤预制棒制造关键材料,纯度可达99.999%以上。

(二)光伏与化工领域

光伏电池材料:用于制备光伏薄膜,提升电池光电转换效率,适配规模化生产需求。

化工合成原料:用于制取氟硅酸、氟化铅等,也是有机硅合成重要中间体;制备工艺含氟硅酸盐热分解法、萤石硫酸法,前者具环保、高纯优势。

(三)建筑工程领域

硬化剂:用作水泥和人造大理石硬化剂,提升材料强度与耐久性。

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

管理要求:专项登记,密闭存放,空满瓶隔离;定期核查钢瓶密封性,库房严禁动火、吸烟及使用易产生火花设备,忌与酸类、氧化剂混存。

容器与环境:无缝钢瓶包装,储存于阴凉干燥通风库房,远离火种热源,避免曝晒和潮湿,配备泄漏应急设备及吸附材料。

(二)运输规范

UN编号2418,危险货物编号23019,包装标志“有毒气体”(第6类);运输时钢瓶平放固定、瓶口同向,不超高;夏季避高温时段运输,按规定路线行驶,禁在居民区停留,严禁摔震撞击,配备押运人员及MSDS文档。

(三)操作与应急

操作禁忌:密闭操作并加强通风,操作人员经培训上岗,佩戴全套防护装备;避免接触皮肤眼睛,轻装轻卸,隔离潮湿环境。

应急处理:泄漏时撤离人员至上风处,划定警戒区;应急人员戴自给正压呼吸器,切断气源,转移泄漏钢瓶至安全区,泄压吹扫;加强通风,禁用水直接冲洗泄漏物。

中毒急救:皮肤接触脱污染衣物,流动清水冲洗后就医;眼睛接触用清水/生理盐水冲洗≥15分钟后就医;吸入者移至新鲜空气处,保持呼吸道通畅,吸氧并立即就医。

火灾处置:本品不燃,消防人员在上风处佩戴防护装备处置;大量水冷却钢瓶至火灾结束,可用干粉、二氧化碳或沙土辅助控漏,严防钢瓶高温爆炸。

(四)废弃处置

交由具备资质的专业机构按国标处置,避高温潮湿以防二次污染;污染器具经清洗消毒无害化处理后回收,包装材料按危化品规定销毁。