磷烷
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| 化学式 | PH₃ |
|---|---|
| cas | 7803-51-2 |
| 纯度 | 5N/6N |
| 规格 | 40L/47L/48L |
| 外观 | 无色剧毒易燃气体 |
| 沸点 | -87.7℃ |
核心应用领域
(一)化工合成领域
电子领域半导体掺杂:半导体、集成电路制造,n型掺杂气体,调控硅晶体导电性;
化学气相沉积原料:与硅烷配合用于CVD工序,沉积磷化硅薄膜,适配半导体封装;
(二)工业专用领域
缩合催化剂与聚合引发剂:有机合成缩合催化,特定高分子聚合引发;
强还原剂:化工反应中还原多种金属及非金属化合物;
(三)科研与特种试剂领域(高纯级)
分析化学标准试剂:高纯级校准检测仪器,适配电子工业尾气磷烷检测;
科研实验试剂:超纯级用于磷氢化合物动力学、半导体掺杂机理研究,支撑电子材料创新;
(四)其他领域
磷有机化合物制备原料:合成磷有机化合物,适配精细化工、医药中间体;
粮仓熏蒸杀虫剂:高纯度用于粮仓等密封环境熏蒸,高效杀虫;
安全规范与操作指南
(一)储存要求
容器与环境
耐压钢瓶充装,标注“磷烷、剧毒、自燃、易燃”及危险标记2、6,月检密封与压力;添加除氧剂防自燃,严禁撞击、刺穿;
储存于≤30℃剧毒气体专用库房,强制通风(≥15次/h),远离火种热源,配干粉灭火器及泄漏应急设备;严禁暴晒,干燥(湿度≤75%);
管理要求
分区存放(空满瓶分开,与其他危化品间距≥10m),禁与氧化剂、卤素、酸类混存;系统氮气吹扫(氧含量<0.5%),双人双锁登记,禁用火花工具;
(二)运输规范
UN分类:2.1类易燃气体(UN2199),国标编号21057,贴“剧毒、自燃、易燃气体”标签,专用耐压钢瓶,配防雨防泄漏防静电设施;
运输要求:①公路用防爆耐压车辆,钢瓶直立固定、阀盖密封,接地防静电,避颠簸暴晒,严禁吸烟;②海运/空运需剧毒运输资质及MSDS,禁与禁忌物混运;
(三)操作与应急
操作禁忌
操作人员经剧毒专项培训,佩戴正压空呼、全封闭防化服、防冻手套及护目镜;密闭通风操作,作业前氮气吹扫管道≥3次(氧含量<50ppm),装高精度泄漏与火焰探测器,密闭空间2人以上监护并检测浓度;
应急处理
泄漏处置:启动紧急切断与警报,疏散至上风安全区(小量隔离150m,大量800m),限出入;应急人员戴正压空呼、穿全封闭防化服上风处置;切断泄漏源,雾状水稀释,收集废水;漏气容器惰性置换后销毁,严禁复用;
中毒急救:皮肤冻伤用38~42℃温水复温,忌热水/辐射热、不揉搓,立即就医;眼睛提眼睑冲洗≥15分钟就医;吸入移至新鲜空气处,呼吸困难给氧,呼吸停止即心肺复苏送医;
火灾处置:消防人员穿全套装防化服、戴空呼上风向操作;干粉扑救,严禁水直射;切勿关闭泄漏源阀门(防负压回火爆炸),喷水冷却钢瓶移至空旷处;燃烧产物经尾气处理后排放;
(四)废弃处置
废弃处置:剩余物料导入专用燃烧式尾气处理装置,惰性吹扫后焚烧,尾气碱液吸收磷氧化物;空钢瓶惰性置换、酸碱清洗合格后,专业危废机构回收销毁,禁丢弃;







