核心应用领域

（一）半导体领域（高纯级）

光刻/刻蚀：90%-99%丰度用于12英寸晶圆光刻，提升曝光精度；

离子注入保护：99.9%丰度+氩气，减少硅片损伤。

（二）激光与光电领域（超纯级）

激光陀螺仪：≥99%丰度用于航惯系统；

准分子激光：99.99%丰度用于眼科手术激光。

（三）科研与标准气领域

等离子体研究：超纯级用于核聚变诊断；

标准物质：工业级用于环境监测标气，校准分析仪。

（四）显示面板领域

OLED保护气：99.9%丰度用于蒸镀，防有机材料氧化。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

容器与环境：316L不锈钢钢瓶（耐压20MPa），标“氖-22+惰性气体+高压+防撞击”，3年一检；≤30℃通风库，距热源≥10米，配氧检测仪（≤19.5%报警），钢瓶防爆固定；

管理要求：分丰度存放，液态罐≤-242℃报警，余压≥0.5MPa，禁与易燃气同存。

（二）运输规范

UN分类：2.2类非易燃无毒气（UN1065，II类），贴“高压+防低温”；液态用真空绝热罐；

要求：①公路防爆车（≤40km/h，避颠簸）；②航空单瓶≤50kg，提供纯度报告，禁混氧化剂。

（三）操作与应急

操作禁忌：戴护目镜/防冲击手套，液态操作加低温围裙；①开阀前确认黄铜减压器，速率≤0.5圈/秒；②密闭空间2人监护，每10分钟测氧浓度；

应急处理：①泄漏：气态开通风撤上风向，液态干沙覆盖；②窒息：移新鲜空气吸氧送医；③冻伤：40℃温水浸泡+冻伤膏。

（四）废弃处置

余气直排，钢瓶氮气吹扫后回收；液态汽化排放（无人员滞留）。