锗烷混合气
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| 化学式 | GeH4+N2/Ar |
|---|---|
| cas | / |
| 纯度 | 定制 |
| 规格 | 10L、40L、47L、50L |
| 外观 | 无色气体 |
| 沸点 | -88.5℃ |
核心应用领域
(一)半导体与电子领域(电子级)
锗硅外延生长:1%-3%锗烷-氢/氩混合气,用于SiGe外延层(高频射频芯片/光电探测器),杂质O₂致缺陷密度升至10⁴cm⁻²;
量子点制备:3%-5%锗烷-氮混合气,合成Ge/Si量子点(量子计算/红外传感),杂质H₂O致尺寸偏差>5%。
(二)光电与材料领域(工业级)
红外光学涂层:4%-5%锗烷-氩混合气,制二氧化锗增透涂层(红外热像仪),杂质O₂致透光率降8%;
新型半导体材料:2%-3%锗烷-氮混合气,锗基钙钛矿掺杂(提光伏效率)。
(三)其他领域
科研实验:1%-2%锗烷-氩混合气,作锗源标准气(Ge掺杂YBCO超导研究);
金属改性:3%-4%锗烷-氩混合气,金属锗化物涂层(航空零部件耐腐)。
规范与操作指南
(一)储存要求
容器与环境:316L钝化钢瓶(15MPa,内壁锗烷钝化),标注“剧毒+易燃+防湿”,检验周期8个月;≤22℃干燥防爆库,底部排风≥30次/小时,距空气/水/氧化剂≥50米,配锗烷探测器(1ppmTWA)、氧检测仪,设干粉灭火+5%碱吸收池;
管理要求:钢瓶离地≥40cm固定,余压≥0.3MPa,电子级/工业级分存,禁含水物品。
(二)运输规范
UN分类:2.3类剧毒+2.1类易燃(UN2192,I类),贴“剧毒+易燃+防静电+防湿”,配呼吸器/解毒剂(二巯基丙醇)/干粉灭火器;
要求:①公路:全密闭防爆车(惰性气吹扫+温压监控),车速≤38km/h,避>32℃/雨雪;②铁路/航空:单批≤3瓶,单独防爆舱(充氮),禁混运化学品。
(三)操作与应急
操作禁忌:持专项证(毒性累积考核),穿氟橡胶防化服+正压呼吸器;开阀≤0.2圈(蒙乃尔减压器,禁铜/镍);管线用聚四氟乙烯衬里(漏率≤10⁻¹⁰Pa・m³/s);密闭空间3人监护,每5分钟测浓度;
处置:①泄漏:撤上风向50米,开排风+碱吸收,氦质谱检漏,氮气吹扫至<0.5ppm;②中毒:皮肤用无水乙醇擦+氧化锌软膏,吸入吸氧+二巯基丙醇,医监肺功能72小时;③火灾:断气源,干粉灭火(禁水/CO₂),雾状水冷钢瓶(禁搬)。
(四)废弃处置
余气经10%碱塔吸收(生锗酸钾+氢气单独燃烧),钢瓶氮置换至<0.1ppm+钝化检测后专业回收。






