天津尚澜气体有限公司

锗烷混合气

锗烷混合气

锗烷混合气为1%-5%锗烷(GeH₄)与N₂/Ar惰性气体混合体系,核心指标:

电子级:浓度偏差±0.1%,O₂≤5ppm、H₂O≤3ppm、金属离子≤0.05ppb、颗粒≥0.1μm≤1个/L;

工业级:浓度偏差±0.3%,O₂≤30ppm、H₂O≤15ppm、总烃≤5ppm。

密度1.52kg/m³,14MPa钢瓶充装,微溶于水,耐316L/蒙乃尔合金,遇铜/镍生易燃锗化物。毒性累积,中温自燃爆,水解氢气风险,14MPa高压爆炸。

化学式

GeH4+N2/Ar

cas

/

纯度

定制

规格

10L、40L、47L、50L

外观

无色气体

沸点

-88.5℃

核心应用领域

(一)半导体与电子领域(电子级)

锗硅外延生长:1%-3%锗烷-氢/氩混合气,用于SiGe外延层(高频射频芯片/光电探测器),杂质O₂致缺陷密度升至10⁴cm⁻²;

量子点制备:3%-5%锗烷-氮混合气,合成Ge/Si量子点(量子计算/红外传感),杂质H₂O致尺寸偏差>5%。

(二)光电与材料领域(工业级)

红外光学涂层:4%-5%锗烷-氩混合气,制二氧化锗增透涂层(红外热像仪),杂质O₂致透光率降8%;

新型半导体材料:2%-3%锗烷-氮混合气,锗基钙钛矿掺杂(提光伏效率)。

(三)其他领域

科研实验:1%-2%锗烷-氩混合气,作锗源标准气(Ge掺杂YBCO超导研究);

金属改性:3%-4%锗烷-氩混合气,金属锗化物涂层(航空零部件耐腐)。

 

规范与操作指南

(一)储存要求

容器与环境:316L钝化钢瓶(15MPa,内壁锗烷钝化),标注“剧毒+易燃+防湿”,检验周期8个月;≤22℃干燥防爆库,底部排风≥30次/小时,距空气/水/氧化剂≥50米,配锗烷探测器(1ppmTWA)、氧检测仪,设干粉灭火+5%碱吸收池;

管理要求:钢瓶离地≥40cm固定,余压≥0.3MPa,电子级/工业级分存,禁含水物品。

(二)运输规范

UN分类:2.3类剧毒+2.1类易燃(UN2192,I类),贴“剧毒+易燃+防静电+防湿”,配呼吸器/解毒剂(二巯基丙醇)/干粉灭火器;

要求:①公路:全密闭防爆车(惰性气吹扫+温压监控),车速≤38km/h,避>32℃/雨雪;②铁路/航空:单批≤3瓶,单独防爆舱(充氮),禁混运化学品。

(三)操作与应急

操作禁忌:持专项证(毒性累积考核),穿氟橡胶防化服+正压呼吸器;开阀≤0.2圈(蒙乃尔减压器,禁铜/镍);管线用聚四氟乙烯衬里(漏率≤10⁻¹⁰Pa・m³/s);密闭空间3人监护,每5分钟测浓度;

处置:①泄漏:撤上风向50米,开排风+碱吸收,氦质谱检漏,氮气吹扫至<0.5ppm;②中毒:皮肤用无水乙醇擦+氧化锌软膏,吸入吸氧+二巯基丙醇,医监肺功能72小时;③火灾:断气源,干粉灭火(禁水/CO₂),雾状水冷钢瓶(禁搬)。

(四)废弃处置

余气经10%碱塔吸收(生锗酸钾+氢气单独燃烧),钢瓶氮置换至<0.1ppm+钝化检测后专业回收。