天津尚澜气体有限公司

电子标准气

电子标准气

电子标准气是高纯单一组分或低浓度混合气,按需定制;含高纯氢、氦等及硼烷、氟化氢等特种气;平衡气为高纯氮(≥99.999%)或氩,浓度覆盖ppt~ppb级,适配高精度检测。纯度极高(电子级氢≥99.999%),浓度不确定度≤±2.0%(k=2),稳定性优良;充装压力≤9.5MPa,特种毒气配专用防泄漏阀,严禁混装不相容气体,设独立洁净充装系统。

中文名

电子标准气

危险性类别

第2类压缩气体

属性

含惰性、易燃、有毒子类

浓度范围

1~1000ppm

包装

4L、8L、10L

应用领域

广泛应用于半导体、显示面板等电子制造领域,核心聚焦高精度生产校准与监测,具体如下:

半导体制造校准:校准掺杂、蚀刻工艺气体检测仪,确保硼烷、氟化氢等浓度精准,保障芯片质量。

显示面板生产监测:作为OLED、LCD生产气体纯度监测基准,校准氮、氩等惰性气检测仪,防杂质影响性能。

电子元器件检测:校准封装过程气体检测仪,确保环境气体纯度,提升元器件可靠性。

实验室分析校准:校正气相色谱仪等,保障高纯气体杂质检测数据准确可比。

新能源电子监测:适配光伏、锂电等器件生产气体监测校准,保障生产环境合规,提升产品性能。

 

安全规范

充装安全:区分不相容气体,特种毒气在防爆洁净环境充装,配高精度检漏仪,全程监测,防燃烧、中毒及污染。

储存运输安全:储存于阴凉干燥洁净库房,远离火源热源及洁净生产区,贴专用警示标识;运输需危化品资质与洁净防爆车辆,严禁混装,定期检查密封性与洁净度。

使用操作安全:使用前核对组分、纯度、有效期及证书;操作环境洁净通风,有毒/腐蚀性组分需穿戴专用防护装备;缓调流量压力,用后关阀,余气专业回收。

材料相容性:气瓶、阀门等选用洁净耐腐材料并钝化,避免气体污染或反应,防止变质泄漏。

应急处置:配备专用应急与洁净防护装备;泄漏时撤离至洁净安全区,关火源、开洁净通风,针对性处置;接触/吸入不适时,洁净水冲洗并就医报警。