三氟碘甲烷
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| 化学式 | CIF₃ |
|---|---|
| cas | 2314-97-8 |
| 纯度 | 2N/4N |
| 规格 | 多种规格 |
| 外观 | 无色无味气体 |
| 沸点 | -22.5℃ |
核心应用领域
(一)电子工业领域
半导体刻蚀气体:用于3D NAND Flash等先进制程,刻蚀选择性与高深宽比优异,是半导体精密制造关键材料。
环保制冷剂:替代传统氟利昂,用于制冷设备组元,油溶性与材料相容性好,适配多制冷工况。
(二)特种工业领域
环保灭火剂:哈龙1301优选替代品,灭火高效无残留,适用于油类、电器火灾,广泛应用于航空、航天等领域。
特种工业材料:用作电气设备绝缘与灭弧气体(绝缘强度优于SF₆),也可作为含氟中间体用于医药、农药合成。
安全规范与操作指南
(一)储存要求
容器与环境:高压钢瓶包装;储存于阴凉通风库房(≤30℃),远离火种热源,避曝晒,配备泄漏应急设备。
管理要求:钢瓶直立固定存放,专项登记管理;定期核查密封性,库房禁动火、吸烟。
(二)运输规范
UN编号1956,危险货物编号22043,贴“不燃气体”“刺激物”标签,高压钢瓶包装,配备防泄漏、防雨及应急装备。
运输要求:专用车辆运输,钢瓶直立固定防碰撞;严禁与强氧化剂混运,夏季避曝晒,配备押运人员及MSDS,禁停居民区。
(三)操作与应急
操作禁忌:密闭操作,全面通风;操作人员培训上岗,高浓度接触佩戴防毒面具、防护手套;远离强氧化剂,搬运轻装轻卸防破损。
应急处理:泄漏撤离至上风处隔离(小泄漏30m,大泄漏150m);应急人员戴自给正压呼吸器,切断泄漏源,通风扩散,漏气容器修复检验后复用。
中毒急救:皮肤接触无需特殊处理;眼睛用清水冲洗15分钟;吸入脱离现场吸氧,呼吸停止立即人工呼吸并就医。
火灾处置:本品不燃,消防人员全防护上风处置;切断气源,冷却容器移至空旷处;用雾状水、二氧化碳灭火,严防高热致容器爆炸。
(四)废弃处置
交由危废资质机构处置,遵守环保法规;污染器具清洗回收,包装无害化销毁,处置避免接触强氧化剂。







