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四氟化碳

四氟化碳

四氟化碳别名四氟甲烷、R14,属全氟化碳,常温常压为无色无味气体,分子式CF₄,分子量88.00;熔点-183.6℃、沸点-128℃;微溶于水,可溶于部分有机溶剂;常温稳定,汽液转化便捷。受热、震动或钢瓶破损易爆炸,高温分解可能产生有毒氟化氢;本身低毒,等离子态下反应可能生成有毒产物;不燃,无腐蚀性。

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化学式

CF₄

cas

75-73-0

纯度

5N

规格

8L/44L/47L

外观

无色无味气体

沸点

-128℃

核心应用领域

(一)电子工业领域

半导体刻蚀气体:用于硅、二氧化硅等离子刻蚀,可单独或与氧气搭配使用,刻蚀精度高,是半导体精密制造核心材料。

超低温制冷剂:用作超低温制冷设备冷媒,适用于超导研究、低温物理实验等,也可用于航空航天设备高温制冷。

(二)特种工业领域

电子材料处理试剂:用于电路板孔内除胶渣,与氧气配合等离子体技术清除胶渣;也可用于玻璃表面微纳加工。

特种工业材料:用作电气设备绝缘气体(绝缘性优良),也可作为医疗成像对比剂,还用于光伏电池刻蚀。

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

管理要求:钢瓶直立固定存放,专项登记,空满瓶分存;定期核查密封性及附件完好,库房禁动火、吸烟,禁用易产生火花设备。

容器与环境:无缝高压钢瓶包装;储存于阴凉通风库房(≤30℃),远离热源,避曝晒,配备泄漏应急设备。

(二)运输规范

UN编号1982,危险货物编号22033,贴“不燃气体”“温室效应”标签,高压钢瓶包装,配备防泄漏、防雨及应急装备。

(三)操作与应急

操作禁忌:密闭操作、加强通风,与可燃物隔离;操作人员经培训上岗,接触液体佩戴防护服、手套及半面面罩;搬运轻装轻卸,防钢瓶摔震撞击。

运输要求:专用车辆运输,避曝晒、按规行驶;严禁烟火及与氧化剂混装;配备押运人员及MSDS,禁停居民区。

应急处理:泄漏撤离至上风处,加强通风并检测氧含量;应急人员戴自给正压呼吸器,切断气源隔离钢瓶,修复前泄压并惰性气体吹扫。

中毒急救:皮肤接触液体致冷烧伤,温水洗浴涂冻伤软膏就医;眼睛接触立即清水冲洗,冻伤就医;吸入转移至空气新鲜处,严重者就医。

火灾处置:本品不燃,消防人员戴防护装备上风处置;大量水冷却火场容器至火灾结束;用水或沙土灭火,严防高热致容器爆炸。

(四)废弃处置

交由危废资质机构处置,遵守环保法规;污染器具清洗消毒后回收,包装按规定无害化销毁,处置避高温。