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六氟异丁烯

六氟异丁烯

六氟异丁烯(反式),分子式C₄H₂F₆,分子量164.05属液化高压气体(常温常压气态)。无色无味气体;沸点8.5℃,微溶于水,受热易气化升压。稳定性较高,不易燃无爆炸极限;常温不与常见物质反应,受热稳定;忌强氧化剂、碱金属,远离热源,具皮肤/眼及呼吸刺激性,可致冻伤。

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化学式

C₄H₂F₆

cas

66711-86-2

纯度

2N

规格

多种规格

外观

无色无味气体

沸点

8.5℃

核心应用领域

(一)电子工业领域

高纯级为高纵横比集成电路核心蚀刻气,用于半导体精密电路加工;蚀刻选择性优异,适配高端芯片制造。

(二)含氟聚合物合成领域

用作含氟聚合物合成单体,提升聚合物高低温机械性、加工性及可靠性;产品应用于汽车、5G通信等领域。

(三)化工合成领域

作为有机合成中间体,用于合成高性能材料,改善材料核心性能,适配苛刻环境应用。

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

耐压钢瓶盛装,标注“高压、遇热爆炸、皮肤/眼刺激”;储存于≤52℃干燥通风库房,远离强氧化剂、碱金属;钢瓶直立固定,空满瓶分放,定期巡检泄漏。

(二)运输规范

UN 3163(2.2类非易燃无毒气体),贴警示标识并配应急器材;专用危险品车运输,禁混运强氧化剂、碱金属;避高温暴晒、剧烈碰撞,禁停留居民区、水源地。

(三)操作与应急处理

操作要求:持证上岗,穿戴防护眼罩、手套及防护服;通风良好处操作,配排气装置;缓慢开阀用专用减压器,定期检查泄漏;密闭空间操作需监护并监测氧浓度。

泄漏处理:疏散人员至上风向安全区;应急人员戴正压呼吸器;切断泄漏源,加强通风扩散;防进入限制性空间,禁直喷水冲击。

急救措施:①吸入:移至新鲜空气,保持舒适体位,不适就医;②皮肤接触:温水冲洗,脱污染衣物后就医;③眼睛接触:流动清水冲洗≥15分钟,取隐形眼镜继续冲洗就医;④食入:无此途径。

(四)废弃处置

优先回收,无法回收余气经惰性气体稀释后碱液吸收达标排放;钢瓶氮气置换干燥后专业回收,符合国家及地方规章。