六氟异丁烯
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| 化学式 | C₄H₂F₆ |
|---|---|
| cas | 66711-86-2 |
| 纯度 | 2N |
| 规格 | 多种规格 |
| 外观 | 无色无味气体 |
| 沸点 | 8.5℃ |
核心应用领域
(一)电子工业领域
高纯级为高纵横比集成电路核心蚀刻气,用于半导体精密电路加工;蚀刻选择性优异,适配高端芯片制造。
(二)含氟聚合物合成领域
用作含氟聚合物合成单体,提升聚合物高低温机械性、加工性及可靠性;产品应用于汽车、5G通信等领域。
(三)化工合成领域
作为有机合成中间体,用于合成高性能材料,改善材料核心性能,适配苛刻环境应用。
安全规范与操作指南
(一)储存要求
耐压钢瓶盛装,标注“高压、遇热爆炸、皮肤/眼刺激”;储存于≤52℃干燥通风库房,远离强氧化剂、碱金属;钢瓶直立固定,空满瓶分放,定期巡检泄漏。
(二)运输规范
UN 3163(2.2类非易燃无毒气体),贴警示标识并配应急器材;专用危险品车运输,禁混运强氧化剂、碱金属;避高温暴晒、剧烈碰撞,禁停留居民区、水源地。
(三)操作与应急处理
操作要求:持证上岗,穿戴防护眼罩、手套及防护服;通风良好处操作,配排气装置;缓慢开阀用专用减压器,定期检查泄漏;密闭空间操作需监护并监测氧浓度。
泄漏处理:疏散人员至上风向安全区;应急人员戴正压呼吸器;切断泄漏源,加强通风扩散;防进入限制性空间,禁直喷水冲击。
急救措施:①吸入:移至新鲜空气,保持舒适体位,不适就医;②皮肤接触:温水冲洗,脱污染衣物后就医;③眼睛接触:流动清水冲洗≥15分钟,取隐形眼镜继续冲洗就医;④食入:无此途径。
(四)废弃处置
优先回收,无法回收余气经惰性气体稀释后碱液吸收达标排放;钢瓶氮气置换干燥后专业回收,符合国家及地方规章。







