核心应用领域

（一）电子工业领域

高纯级为半导体核心等离子蚀刻气，用于超大规模集成电路高精度蚀刻与器件清洗，亦可用作绝缘气保障元件稳定运行。

（二）制冷领域

用作低温制冷剂，应用于制冷空调系统，依托稳定热力学特性实现高效制冷，适配低温工况。

（三）化工合成领域

作为添氟剂，用于有机合成选择性引入氟原子，优化产物化学性能。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

耐压钢瓶盛装，标注高压、遇热爆炸警示；储存于≤40℃干燥通风库房，远离火源、可燃物，与强氧化剂分存；钢瓶直立固定，空满瓶分放，定期巡检泄漏。

（二）运输规范

UN 2193（2.2类非易燃无毒气体），贴警示标识并配应急器材；专用危险品车运输，禁混运可燃物、强氧化剂；避高温暴晒、剧烈碰撞，严控车速，禁停留居民区、水源地。

（三）操作与应急处理

操作要求：持证上岗，穿戴护目镜、防护手套及防护服；密闭操作、局部排风；缓慢开阀用专用减压器防泄漏；密闭空间操作需多人监护并监测氧浓度。

泄漏处理：疏散人员至上风向安全区，划定警戒区；应急人员戴正压呼吸器；切断泄漏源，加强通风扩散，可用水雾引导气流，禁直接用水冲击，避进入限制性空间。

急救措施：①吸入：移至新鲜空气，呼吸困难输氧，心跳呼吸停止即心肺复苏并就医；②皮肤接触：冻伤后38~42℃温水复温，包扎就医；③眼睛接触：流动清水/生理盐水冲洗10-15分钟，不适就医；④食入：无此接触途径。

（四）废弃处置

优先回收，无法回收余气经惰性气体稀释后碱液吸收中和达标排放；钢瓶氮气置换、真空干燥后专业回收。