硼11三氟化硼
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| 化学式 | ¹¹BF₃ |
|---|---|
| cas号 | 7637-07-2 |
| 丰度 | 99%、99.9%、99.99% |
| 规格 | 多种规格 |
| 外观 | 无色有窒息味 |
| 沸点 | – 100.3℃ |
核心应用领域
(一)半导体与电子领域(超纯级为主)
高端芯片 P 型掺杂:99.999% 丰度用于 7nm 以下芯片离子注入,杂质>1ppm 致漏电率升 30%;
半导体离子注入源:99% 丰度作核心气源,纯度影响芯片良率。
(二)核工业领域(高纯级为主)
中子慢化剂:95% 丰度用于反应堆系统;
核辐射屏蔽:工业级与环氧树脂复合制屏蔽板。
(三)光纤与科研领域(高纯级为主)
光纤芯层掺杂:99.99% 丰度提升传输稳定性;
量子计算研究:99.999% 丰度作量子比特介质。
(四)其他领域(占 5%)
有机合成催化剂(3%):工业级替代传统路易斯酸;
标准气配制(2%):90% 丰度校准气体分析仪。
安全规范与操作指南
(一)储存要求
容器与环境:内壁氟化铝合金钢瓶(耐压 20MPa),标 “剧毒 / 腐蚀 / 遇水爆炸”,每 2 年检验;≤30℃干燥库房,底部排风≥40 次 / 小时,距水源≥50 米,设 1ppm 探测器与 HF 检测仪(湿度≤30%);
管理:双人收发保管,钢瓶固定,余压≥0.3MPa,超纯级与工业级间隔≥3 米。
(二)运输规范
UN 分类:2.3 类毒性 + 8 类腐蚀(UN1008,I 类),贴 “剧毒 / 防湿 / 高压”,备 10% 氢氧化钠吸收罐与防化服;
要求:①公路用防腐蚀货车(避雨雪);②航空单批≤5 瓶,提供纯度 + 丰度报告。
(三)操作与应急
操作:持剧毒证,穿全封闭防化服;开阀前氮气吹扫(漏率≤10⁻⁹Pa・m³/s),用蒙乃尔减压器;聚四氟乙烯管线(禁触水);密闭空间 3 人监护(每 5 分钟测浓度 / 氧含量);
应急:
泄漏:上风向撤离,小漏隔离 30m、大漏 300m,开碱吸收,禁水洗;
急救:皮肤冲≥15 分钟涂氟化钠软膏,吸入吸氧注地塞米松(防肺水肿);
火灾:断气源,用干粉 / CO₂灭火,禁用水基。
(四)废弃处置
余气经 20% KOH 吸收,钢瓶热氮吹扫(残留<0.1%)回收;废液中和至 pH 6-9 排放。






