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硼11三氟化硼

硼11三氟化硼

硼11三氟化硼,硼11天然丰度80.6%,剧毒腐蚀性气体,分子式¹¹BF₃,分子量68.01,常温无色有窒息味,遇湿生白雾;密度2.39g/L,沸点-100.3℃,熔点-126.7℃;遇水爆炸分解为HBF₄与H₃BO₃,腐蚀玻璃;硼11稳定无放射性,热中子吸收截面0.005靶恩,具“低中子干扰特异性”;腐蚀毒性;遇水爆炸;浓度>30%致窒息。

化学式

¹¹BF₃

cas号

7637-07-2

丰度

99%、99.9%、99.99%

规格

多种规格

外观

无色有窒息味

沸点

– 100.3℃

核心应用领域

(一)半导体与电子领域(超纯级为主)

高端芯片 P 型掺杂:99.999% 丰度用于 7nm 以下芯片离子注入,杂质>1ppm 致漏电率升 30%;

半导体离子注入源:99% 丰度作核心气源,纯度影响芯片良率。

(二)核工业领域(高纯级为主)

中子慢化剂:95% 丰度用于反应堆系统;

核辐射屏蔽:工业级与环氧树脂复合制屏蔽板。

(三)光纤与科研领域(高纯级为主)

光纤芯层掺杂:99.99% 丰度提升传输稳定性;

量子计算研究:99.999% 丰度作量子比特介质。

(四)其他领域(占 5%)

有机合成催化剂(3%):工业级替代传统路易斯酸;

标准气配制(2%):90% 丰度校准气体分析仪。

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

容器与环境:内壁氟化铝合金钢瓶(耐压 20MPa),标 “剧毒 / 腐蚀 / 遇水爆炸”,每 2 年检验;≤30℃干燥库房,底部排风≥40 次 / 小时,距水源≥50 米,设 1ppm 探测器与 HF 检测仪(湿度≤30%);

管理:双人收发保管,钢瓶固定,余压≥0.3MPa,超纯级与工业级间隔≥3 米。

(二)运输规范

UN 分类:2.3 类毒性 + 8 类腐蚀(UN1008,I 类),贴 “剧毒 / 防湿 / 高压”,备 10% 氢氧化钠吸收罐与防化服;

要求:①公路用防腐蚀货车(避雨雪);②航空单批≤5 瓶,提供纯度 + 丰度报告。

(三)操作与应急

操作:持剧毒证,穿全封闭防化服;开阀前氮气吹扫(漏率≤10⁻⁹Pa・m³/s),用蒙乃尔减压器;聚四氟乙烯管线(禁触水);密闭空间 3 人监护(每 5 分钟测浓度 / 氧含量);

应急:

泄漏:上风向撤离,小漏隔离 30m、大漏 300m,开碱吸收,禁水洗;

急救:皮肤冲≥15 分钟涂氟化钠软膏,吸入吸氧注地塞米松(防肺水肿);

火灾:断气源,用干粉 / CO₂灭火,禁用水基。

(四)废弃处置

余气经 20% KOH 吸收,钢瓶热氮吹扫(残留<0.1%)回收;废液中和至 pH 6-9 排放。