核心应用领域

（一）电子工业领域

高纯级为半导体先进制程核心蚀刻气，用于7nm及以下工艺等离子体蚀刻，适配3D NAND制造；蚀刻速率快、选择性高，降PFC排放65%-82%。

（二）含氟聚合物合成领域

用作含氟聚合物合成单体，制备高性能氟树脂及防水耐腐涂层，支撑高端密封领域。

（三）化工合成领域

作为有机合成中间体，用于电子材料制备；亦为药物传递载体，提升药物吸收效率。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

耐压钢瓶盛装，标注“极易燃、高压、遇热爆炸、吸入中毒”；储存于≤52℃干燥通风库房，远离火源，禁与强氧化剂、空气混存；钢瓶直立固定接地，空满瓶分放，定期巡检泄漏。

（二）运输规范

UN 3161（2.1类极易燃气体），贴警示标识并配应急器材；专用危险品车运输，禁混运强氧化剂；避高温暴晒、剧烈碰撞，禁停留居民区、水源地。

（三）操作与应急处理

操作要求：持证上岗，穿戴防护眼罩、防化手套及防静电服；通风良好处操作，防爆通风；用防静电工具，缓慢开阀配专用减压器；密闭空间操作需监护并监测浓度。

泄漏处理：切断火源，疏散人员至上风向安全区；应急人员戴正压呼吸器、穿防静电服；小量泄漏防爆回收，大量围堤收容，禁直喷水，防进入限制性空间；漏气着火勿灭火，除非可安全止漏。

急救措施：①吸入：移至新鲜空气，呼吸困难输氧就医；②皮肤接触：冻伤后38~42℃温水复温，勿摩擦，脱污染衣物就医；③眼睛接触：流动清水冲洗≥15分钟，取隐形眼镜继续冲洗就医；④食入：无此途径。

（四）废弃处置

优先回收，无法回收余气经惰性气体稀释后碱液吸收达标排放；钢瓶氮气置换干燥后专业回收，符合国家及地方规章。