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三氯氢硅

三氯氢硅

三氯氢硅,别名硅仿、三氯硅烷,分子式SiHCl₃,分子量135.45,属高活性遇湿易燃有毒卤硅烷。常温常压下为无色易挥发液体,有刺激性氯化氢气味;熔点-134℃、沸点31.8℃,密度1.35g/mL,相对蒸气密度4.7,易溶于苯、醚等有机溶剂,遇水剧烈反应。极易燃烧,与氧化剂接触爆炸,高温下可被氢气还原为高纯硅,900℃以上分解产生有毒氯化物烟雾,高毒。

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化学式

SiHCl₃

cas

10025-78-2

纯度

2N/9N

规格

多种规格

外观

无色易挥发液体

沸点

31.8℃

核心应用领域

(一)电子工业领域

高纯级为光伏/半导体核心原料,用于制备高纯多晶硅(光伏电池核心)、半导体外延硅层生长,保障芯片纯度,也可用于硅基薄膜沉积。

(二)化工合成领域

有机硅合成关键原料,可制备硅酮化合物、硅烷偶联剂,支撑橡胶、涂料等行业,也可用作有机反应中间体制备精细化工产品。

(三)材料制备与冶金领域

金属表面处理用作蚀刻剂提升光洁度;可制备其他硅系化合物,完善电子化学品产业链。

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

采用不锈钢/玻璃耐腐容器盛装,标注“遇湿易燃、有毒、腐蚀、禁水”标识;储存于≤25℃干燥通风库房,配强制干燥排风(≥30次/小时),远离水、氧化剂等(安全距离≥100m),安装泄漏报警仪,钢瓶防倾倒固定,余压≥0.3MPa防空气进入。

(二)运输规范

UN分类:4.3类遇湿易燃品+2.3类有毒气体(UN 1295,包装I类),贴对应警示标识,配备防护及应急器材。公路用防爆防潮货车,排气管阻火,车速≤30km/h,避高温潮湿路段;铁路/航空需纯度报告,单批≤3瓶,单独防爆干燥舱运输,禁停留居民区、水源地。

(三)操作与应急处理

操作要求:持证上岗,穿阻燃耐酸碱服、戴正压式呼吸器及氟橡胶手套;开阀≤0.1圈并使用专用耐腐减压器;转移采用干燥无缝不锈钢管线;密闭空间操作需3人监护,每3分钟检测浓度。

泄漏处理:立即消除点火源,人员上风向撤离(小量隔离30m、大量隔离150m);应急人员穿全防防护服,严禁喷水泡沫,用干燥惰性气体吹扫,泄漏液用砂土吸收,残余气经碱液吸收塔中和,封堵后禁用下水道排放。

急救措施:①吸入:移至干燥新鲜空气处吸氧并立即送医;②皮肤/眼部:先以干燥惰性气体吹扫,再用大量流动清水冲洗≥15分钟后就医;③食入:漱口后饮牛奶/蛋清,速送医。

(四)废弃处置

余气经干燥惰性气体稀释后通入碱液吸收塔中和达标排放;钢瓶经氮气置换(残留<0.01%)、真空干燥后专业回收。