天津尚澜气体有限公司

氘代硅烷

氘代硅烷

氘代硅烷为硅烷的全氘代衍生物,是半导体高端制造与精密科研的关键氘代气体材料,兼具低氢背景信号与优异薄膜沉积稳定性,分子式D₄Si,分子量36.14;常温常压下为无色易燃气体密度1.114 g/mL,熔点-185℃,沸点-112℃;不溶于水及常见有机溶剂,碱性条件下缓慢水解,无放射性,化学稳定性中等,氘代稳定性优异;具极强易燃性(GHS 2类)与中等毒性,对水生生物有毒。

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化学式

SiD₄

cas号

13537-07-0

丰度

99.99%

纯度

99.999%

规格

多种规格

外观

无色易燃气体

沸点

-112℃

核心应用领域

(一)科研与分析领域

同位素示踪:试剂级为标记气体,追踪硅基材料合成与薄膜沉积元素迁移,支撑材料科学与化学工程研究;

(二)半导体与电子制造领域

先进芯片制造:高纯级为无氢硅源,经化学气相沉积(CVD)形成硅薄膜,Si-D键抗热载流子效应,减少晶体管缺陷,提升芯片可靠性,适配7nm及以下制程;

高端显示面板制备:用于OLED/LTPO面板TFT制造,减少电流泄漏,提升刷新率与亮度均匀性,延长使用寿命;

(三)材料科学领域

氘代功能材料合成:制备氘代硅基聚合物、涂层,提升热稳定性与耐久性,适配高端电子封装与耐候涂层研发;

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

高压钢瓶封装,标“极易燃气体”“有毒”;储存于-20~25℃专用气瓶库房,远离热源明火氧化剂(≥20米),配备泄漏检测仪、干粉灭火器及应急防护装备;

库房湿度≤60%,避直射,钢瓶直立固定,防倾倒撞击,远离电气设备与静电源;

分纯度存放,建“纯度-批次-储存期”台账,定期查密封性,未用完气瓶保持阀口密封,严禁放空;

(二)运输要求

UN分类:2.1类易燃气体(UN 2203,II类);运输工具贴警示,配防雨防晒防撞击设施,用专用气瓶运输车;

运输要求:①公路车速≤50km/h,避高温时段(10:00-16:00)与密集区;②铁路/航空需检测报告与MSDS,禁混运氧化剂、腐蚀品;③轻装轻卸,用专用工具,禁撞击,全程防静电;

(三)操作与应急处理

操作规范:操作人员经专业培训,佩戴防毒面具、防护镜、防静电手套、阻燃服,在密闭通风橱或惰性气体手套箱内操作;操作区禁吸烟明火,配静电接地,工具专用;作业后清洗装备并检测泄漏;

泄漏处置:撤离安全区,断火源,启通风;少量泄漏:防爆排风+惰性气体稀释;大量泄漏:设警戒区,通知专业人员,防爆泵转移回收,处置后检测气体;

人员急救:①皮肤接触:脱离接触,清水冲15分钟,不适就医;②眼睛接触:翻眼睑冲10-15分钟,立即就医;③吸入:移至新鲜空气,保呼吸道通畅,必要时吸氧就医;

火灾处置:用干粉、二氧化碳或惰性气体灭火,禁用水/泡沫;消防人员戴呼吸器与全套防护,上风向灭火,移钢瓶至空旷安全处;

(四)废弃处置

剩余气体经惰性气体稀释后专业缓慢燃烧(配尾气净化);废钢瓶专业清洗检测后回收,禁随意丢弃。