氘代硅烷
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| 化学式 | SiD₄ |
|---|---|
| cas号 | 13537-07-0 |
| 丰度 | 99.99% |
| 纯度 | 99.999% |
| 规格 | 多种规格 |
| 外观 | 无色易燃气体 |
| 沸点 | -112℃ |
核心应用领域
(一)科研与分析领域
同位素示踪:试剂级为标记气体,追踪硅基材料合成与薄膜沉积元素迁移,支撑材料科学与化学工程研究;
(二)半导体与电子制造领域
先进芯片制造:高纯级为无氢硅源,经化学气相沉积(CVD)形成硅薄膜,Si-D键抗热载流子效应,减少晶体管缺陷,提升芯片可靠性,适配7nm及以下制程;
高端显示面板制备:用于OLED/LTPO面板TFT制造,减少电流泄漏,提升刷新率与亮度均匀性,延长使用寿命;
(三)材料科学领域
氘代功能材料合成:制备氘代硅基聚合物、涂层,提升热稳定性与耐久性,适配高端电子封装与耐候涂层研发;
安全规范与操作指南
(一)储存要求
高压钢瓶封装,标“极易燃气体”“有毒”;储存于-20~25℃专用气瓶库房,远离热源明火氧化剂(≥20米),配备泄漏检测仪、干粉灭火器及应急防护装备;
库房湿度≤60%,避直射,钢瓶直立固定,防倾倒撞击,远离电气设备与静电源;
分纯度存放,建“纯度-批次-储存期”台账,定期查密封性,未用完气瓶保持阀口密封,严禁放空;
(二)运输要求
UN分类:2.1类易燃气体(UN 2203,II类);运输工具贴警示,配防雨防晒防撞击设施,用专用气瓶运输车;
运输要求:①公路车速≤50km/h,避高温时段(10:00-16:00)与密集区;②铁路/航空需检测报告与MSDS,禁混运氧化剂、腐蚀品;③轻装轻卸,用专用工具,禁撞击,全程防静电;
(三)操作与应急处理
操作规范:操作人员经专业培训,佩戴防毒面具、防护镜、防静电手套、阻燃服,在密闭通风橱或惰性气体手套箱内操作;操作区禁吸烟明火,配静电接地,工具专用;作业后清洗装备并检测泄漏;
泄漏处置:撤离安全区,断火源,启通风;少量泄漏:防爆排风+惰性气体稀释;大量泄漏:设警戒区,通知专业人员,防爆泵转移回收,处置后检测气体;
人员急救:①皮肤接触:脱离接触,清水冲15分钟,不适就医;②眼睛接触:翻眼睑冲10-15分钟,立即就医;③吸入:移至新鲜空气,保呼吸道通畅,必要时吸氧就医;
火灾处置:用干粉、二氧化碳或惰性气体灭火,禁用水/泡沫;消防人员戴呼吸器与全套防护,上风向灭火,移钢瓶至空旷安全处;
(四)废弃处置
剩余气体经惰性气体稀释后专业缓慢燃烧(配尾气净化);废钢瓶专业清洗检测后回收,禁随意丢弃。







