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硼11三氟化硼络合物

硼11三氟化硼络合物

硼11三氟化硼络合物,¹¹BF₃・L,L为配体,是¹¹BF₃与醚/胺类形成的稳定加合物,硼11天然丰度80.6%,属有毒易燃化学品,硼11稳定,热中子吸收截面0.005靶恩,具“低中子干扰特异性”;络合结构降活性,优势为“电子级杂质可控+低辐射干扰”;配体易燃-毒性;水解产物氟硼酸腐蚀且易积聚;金属离子>1ppm致半导体漏电。

化学式

¹¹BF₃・L

cas号

/

丰度

99%、99.9%、99.99%

规格

多种规格

外观

/

沸点

/

核心应用领域

(一)半导体与电子领域(电子级为主)

先进制程芯片掺杂:99.8%丰度二甲醚络合物热解供¹¹BF₃,用于3nm以下芯片P型掺杂,杂质>10ppm致漏电率升30%;

碳化硅外延与刻蚀:99.9%丰度用于碳化硅外延载流子调控、存储芯片纳米刻蚀。

(二)高端化工领域(工业级为主)

精密有机合成催化剂:95%丰度乙醚络合物用于头孢/降血脂药中间体,替代传统路易斯酸;

特种聚合物制备:工业级催化烯烃聚合,提升聚合物耐腐蚀性,适配航空材料。

(三)核工业与科研领域(科研级为主)

中子慢化剂前驱体:99.9%丰度与环氧树脂复合,用于反应堆慢化系统,低中子吸收减能耗;

量子计算介质:99.999%丰度作量子比特存储材料。

(四)其他领域

标准物质配制:电子级校准半导体特气检测仪,符合SEMIC3.27–1102;

材料表面改性:工业级用于金属氟化处理,提升耐候性。

 

安全规范与操作指南

(一)储存要求

容器与环境:氟化聚乙烯瓶/内壁氟化钢瓶,标“易燃/有毒/腐蚀”,年检1次;≤25℃干燥防爆库房,防静电接地+防爆通风(≥30次/小时),距火源/水≥15米,设1ppm有毒气体+可燃气体报警器(≤1%LEL);

管理要求:双人收发保管,不同配体间隔≥5米存放;余料密封(保质期≤6个月),电子级充氮气保护。

(二)运输规范

UN分类:乙醚络合物(3类易燃+6.1类毒性,UN1154,II类);二甲醚络合物(6.1类毒性+8类腐蚀,UN2965,I类);贴“易燃/有毒/防湿”,备碱性吸收棉+防爆工具;

要求:①公路用防爆货车,铺防泄漏托盘,避10:00-16:00高温;②航空单批≤30kg,提供¹¹B丰度+纯度报告。

(三)操作与应急

操作禁忌:持电子特气操作证,穿防静电服、戴丁腈手套/护目镜(乙醚操作加正压呼吸器);①开封前冷至5℃,用聚四氟乙烯管线(漏率≤10⁻⁸Pa・m³/s);②体系无水无氧(分子筛除水);③密闭空间2人监护,每10分钟测浓度;

应急处理:①泄漏:小量干砂覆盖(禁水洗),大量筑围堤,开10%氢氧化钠吸收塔;②急救:皮肤擦净冲≥15分钟涂氟化钠软膏,吸入吸氧注地塞米松(防肺水肿);③火灾:断泄漏源,用干粉/干砂(乙醚可用泡沫),禁用水基。

(四)废弃处置

废液20%氢氧化钾中和(pH6-9),蒸馏回收配体,残渣≥800℃焚烧;空容器氮气吹扫3次(残留<0.1%)回收。