核心应用领域（聚焦“超纯”不可替代性）

（一）半导体与电子领域

晶圆制造：6N/7N级用于干法蚀刻（防O₂致刻蚀偏差＞0.1μm）、超临界清洗；

电子封装：调控惰性氛围防焊锡氧化。

（二）医疗与生物领域

医疗治疗：5N级用于激光治疗辅助、腹腔镜手术；

生物培养：6N级维持细胞培养箱5%CO₂浓度，防CO致细胞凋亡。

（三）食品与高端制造领域

高端食品：5N级用于高端碳酸饮料、干冰冻干保鲜；

精密铸造：固化砂型防铸件缺陷。

（四）科研与环保领域

科研实验：6N级用于超临界萃取、气候变化模拟；

环保检测：作为气相色谱载气、碳足迹核算标准气。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

容器与环境

气态：316L不锈钢钢瓶（抛光+钝化，耐压20MPa），标识“超纯CO₂/防积聚/防腐蚀”，检验1.5年/次；

液态：特种合金杜瓦罐（哈氏合金内层，容积10-500L），日监压力（≤8MPa）、真空度（损耗≤1%/天）；

环境：≤25℃阴凉库房（架空≥50cm），底部排风≥30次/小时，配氧检测仪（氧＜19.5%报警）、CO₂检测仪（≤0.5%报警）。

管理要求

钢瓶双支架固定，液态罐远热源；建腐蚀台账，禁与普通CO₂混放。

（二）运输规范

UN分类：2.2类非易燃无毒气体（UN1013，II类），贴“防积聚/防低温/防腐蚀”标识；

要求：①公路：防腐货车（钢瓶离车厢底30cm），车速≤50km/h；液态用耐压车（监压≤8MPa）；②铁路/航空：提供纯度+腐蚀报告，单批≤15瓶；③装卸：防腐叉车，穿防腐蚀手套。

（三）操作与应急

操作禁忌

人员持操作证，禁穿化纤衣；①开阀≤0.5圈，用哈氏合金减压器；②液态用不锈钢导管；③密闭空间2人监护，测低洼区氧浓度。

泄漏处理

气态：撤至高处，开排风，关气源，氦质谱检漏，氮气吹扫；

液态/干冰：远泄漏区，待汽化后测氧≥19.5%方可入。

应急处理

窒息：移至高处新鲜空气，必要CPR；

冻伤：37-40℃温水浸泡≥20分钟，送医；

腐蚀/爆炸：撤50米，专业处置。

（四）废弃处置与法规遵从

余气排放，钢瓶氮气置换（CO₂＜0.1%）+腐蚀检测后回收。