核心应用领域（聚焦“超纯”不可替代性）

（一）半导体与电子领域

晶圆制造（30%）：6N级用于氧化工艺（生成SiO₂绝缘层）、清洗工艺（除杂质防短路）；

半导体封装（15%）：调控封装腔室环境，助胶黏剂固化。

（二）航天与能源领域

火箭推进剂：5N级作液体火箭氧化剂（配液氢/煤油），避免积碳堵喷管；

能源存储：用于SOFC阴极反应（防催化剂中毒）。

（三）医疗与科研领域

高端医疗：5N级用于高压氧治疗（脑外伤、CO中毒）、新生儿重症监护（降视网膜病变风险；

科研实验：6N级用于超导材料（YBa₂Cu₃O₇₋ₓ）合成、厌氧菌培养。

（四）其他领域

精密冶金：真空熔炼钛/锆合金（除碳/氮杂质；

环保检测：作气相色谱载气/助燃气，高精度分析VOCs。

安全规范与操作指南

（一）储存要求

容器与环境

气态：316L不锈钢高压钢瓶（耐压20MPa，内壁抛光），标“超纯氧/氧化剂/禁油”，检验周期2年；

液态：双层真空绝热杜瓦罐（316L内层，镀银防辐射），容积10-500L，日损耗率≤0.5%（超1%检修）；

环境：≤25℃通风库房，远离火源/可燃物（安全距≥20米），禁放油脂/橡胶，配氧浓度检测仪（报警阈值＞23.5%）。

管理要求

钢瓶直立双支架固定，瓶阀避通道；杜瓦罐禁倾倒，远振动源；

建纯度台账，记录批次/检测报告/使用，禁与普通氧混放。

（二）运输规范

UN分类：2.2类非易燃气体（标“氧化剂”，UN1072），贴“氧化剂/防低温/禁油”标；

要求：①公路：气态用无油货车（钢瓶防滑固定，车速≤60km/h）；液态用绝热车（控压≤0.8MPa）；②铁路/航空：提供纯度报告，单批≤15瓶，禁与可燃品/油脂同舱；③装卸用无油叉车/手套，禁撞击。

（三）操作与应急

操作禁忌

人员持“超纯气体操作证”，禁穿带油脂衣物；

规范：①开阀≤1圈，用316L无油减压器（禁混用）；②液态用无油不锈钢导管；③通风≥15次/小时，密闭空间2人监护。

泄漏处理

气态：撤离上风处，关阀，肥皂水检漏，通风至氧浓度＜23.5%；

液态：远离泄漏区，禁冲水，待汽化后检测浓度、修泄漏点。

应急处理

火灾：用干粉/CO₂灭火，先断气源；衣物起火脱衣灭火；

氧中毒：移至新鲜空气，抽搐昏迷送医；

冻伤：37-40℃温水泡≥20分钟，禁火烤，严重送医。

（四）废弃处置

剩余气体通风排放；钢瓶/杜瓦罐无油清洗检测后回收，禁私切。