重氧水与重水都是水的稳定同位素试剂，被广泛用于代谢研究、半导体等高端领域，但由于标记不同也导致用途不一样；

重氧水也称为氧18水，它是氧18原子标记的水；而重水也被成为重氢水，是氢2原子也就是氘标记的水，性质方面相差都不是很大；

一般而言氧18水的丰度要求从10%-98%丰度均可，能够满足实验的需求，而重水因为应用场景比较高端，普遍丰度都在99.8%-99.9%，纯度要求也是极高，与蒸馏水混合能够降低丰度，一般而言需要低丰度的都是买少量高丰度的产品自己通过比例来进行稀释；

重氧水与重水均可在代谢研究中使用，只是使用场景有所差异，重氧水是以氧18为核心标记，侧重追踪氧原子代谢迁移，广泛应用于生命科学、医学研究。像人体、动物的代谢研究、植物的代谢研究方面，支撑相关疾病诊断以及药物研发；

而重水是以氢原子为主力，广泛用于基础科研与医药研发，来测定人体代谢速率测定、氘代药物研发以及生命科学的基础代谢研究；

而在半导体领域的差异更大，像重氧水一般被用于14nm/7nm及一些的光刻、蚀刻、清洗方面；能有效去除光刻胶残留与蚀刻离子；同样也可以精密清洗晶圆，是高端制程不可或缺的试剂，但是重氧水要求的纯度极高；

重水测试侧重芯片的性能优化，主要是借助氘原子提升芯片的稳定性与使用寿命，可以用于芯片的退火工艺以及清洗，去除晶圆微量杂质。

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